|
| |
Plasmatechnik
 |
Mit einer Plasmaanlage können die verschiedensten Aufgaben in
der Behandlung von Materialoberflächen durchgeführt werden. Die
Plasmatechnik findet vor allem in der industriellen Produktion
Anwendung. Die Oberflächen von Fertigungsteilen werden damit entfettet
und gereinigt, aktiviert oder geätzt.
Mit dem Beginn der Asbestproblematik fand die
Plasmatechnik auch Einzug in die Analytik. Bei dieser Anwendung werden die
organischen Bestandteile mittels eines Sauerstoffplasmas verascht,
um die Faserbestimmung zu erleichtern und zu beschleunigen. Eine
weitere wichtige Anwendung in der Elektronenmikroskopie ist die Säuberung
und Entfettung von Probenhalter und/oder Probenoberfläche. |
 |
Dies
ist vor allem in der hochauflösenden analytischen
Transmissionselektronenmikroskopie (ATEM) wichtig, da eine
Plasmabehandlung die Kontamination durch gekrackte Kohlenwasserstoffe hervorragend verzögert. Außerdem wird
berichtet, dass eine Plasmabehandlung Aufladungserscheinungen im
EM auch ohne Beschichtung mit Metall (sputtern) oder Kohlenstoff
(aufdampfen) deutlich vermindert (siehe Literatur
1). Dies ist besonders für die Analyse im Niederspannungsbereich
mit Feldemissionselektronenmikroskopen (FEM) interessant.
Selbstverständlich sind alle bekannten Plasmaanwendungen mit
den Geräten der PlasmaACE-Serie
möglich. |
Home *
Gerätebeschreibung *
TEMprobeclean * Vakuumpumpe
*Plasmatechnik
* Literatur
Plasmaätzen
* Plasmaaktivierung
www.electron-microscopy.com
www.sputtercoater.com
www.sputtercoating.com
www.criticalpointdryer.com
www.gala-instrumente.de
www.plasmainstrument.com
www.plasmainstrument.de
|
(Bild) 
